Различные типы кремниевых микромеханических резонаторов активно используются в современных МЭМС-генераторах и системах коммутации, а также в измерительной технике и датчиках физических величин типа акселерометров и гироскопов. Высокоточное моделирование позволяет значительно повысить эффективность их разработки и подразумевает учет различных междисциплинарных эффектов.

COMSOL Multiphysics® за счет модуля MEMS позволяет проводить полный спектр вибрационных расчетов таких систем для получения данных о резонансных частотах, добротности и частотных характеристиках с учетом механического гистерезисного и термоупругого демпфирования, анкерных потерь, виброакустического влияния окружающего газа. Кроме того, инструменты пакета дадут возможность оценить термические эффекты и другие преднапряжения, явно смоделировать механизм электростатического возбуждения резонаторов и т.п.

В данном видеоуроке проведен обзор указанных возможностей и инструментов, рассмотрена сборка тестовой модели и систематизирована информация о других доступных примерах и шаблонах.

NB: Инструменты моделирования, которые были рассмотрены в данном материале, относятся к версии COMSOL Multiphysics® 5.6.

Еще больше материалов и новостей о COMSOL Multiphysics:
Наш VK: https://vk.com/comsol_ru
Наш Telegram: https://t.me/comsolnews
Видеогалерея на сайте: https://www.comsol.ru/videos
Корпоративный блог: https://www.comsol.ru/blogs